メカトロニクスシステム

当社のメカトロニクスシステムは、高度な精密機械、高帯域幅モーション制御、そして緊密に統合されたセンシングおよびアクチュエーションを組み合わせることで、半導体、FPD、およびライフサイエンス用途において、ナノメートルレベルの精度、高速位置決め、そして卓越した位置安定性を実現します。

精密機械、電気機械、光学、ビジョン、電子機器、モーション制御、およびソフトウェアにわたる、他にない幅広い社内コンピテンシーを活用し、高精度モーションステージ・ウェーハステージや高スループットボンドヘッドなど、完全統合型ソリューションの設計・製造を行っています。

プロセスレベルで深く考察することにより、複雑に絡み合ったプロセスを、それぞれ独自の要件を持つ明確な機能システムとモジュールに分解します。これにより、最適なシステムアーキテクチャの定義、システム全体の複雑性の低減、そして市場投入期間短縮のためのモジュール並行開発が可能となります。

システムエンジニアリング、ラピッドプロトタイピング、資格認定、および量産製造を一体化した垂直統合型アプローチにより、実績あるオフザシェルフ技術とカスタムイノベーションを最適なバランスで組み合わせることができます。その結果、卓越した精度、安定性、およびスループットを備えた、高性能で一体感のあるメカトロニクスシステムが生まれます。