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カスタムカメラソリューション

高度なメトロロジーに向けたイメージング技術の限界への挑戦

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Prodrive Technologiesは、半導体、フラットパネルディスプレイ、ライフサイエンス産業における計測アプリケーション向けの高度なイメージングソリューションの開発において優れた実績を持っています。これらの分野において、私たちはE-beam、DUV、可視光、X線、テラヘルツイメージングなど複数のドメインにわたって、ピクセル解像度、速度、感度を最適化した組み合わせを提供することで卓越しています。​

ドメインエキスパティーズ

私たちの強みは、業界リーダーとの協力によってカスタマイズされたイメージングソリューションを構築することにあります。Prodrive Technologiesの学際的な性質により、顧客と緊密に連携し、システムの観点から技術的な課題を評価する設計チームを組成することができます。これにより、それぞれのユニークな課題に対して最善の技術的アプローチが実現されます。私たちが開発するソリューションは、通常10年以上の長期生産を前提としています。すべての設計が量産に最適化されるよう、設計プロジェクトの早い段階から製造アーキテクトを参画させています。

センサー設計からカメラまで

私たちが開発するカメラソリューションにおいて、市販のセンサーでは要件を満たせないケースが多くあります。そのため、私たちのカメラは特定のアプリケーションに対して解像度、感度、ピクセルレートを最大限に発揮できるカスタムセンサーを活用するよう設計されています。これらのセンサーは私たちのデザインハウスパートナーネットワーク内で開発され、エンジニアリングチームが早期段階から関与することで、後のカメラアーキテクチャに直接貢献する最適な設計上の決定を確保しています。Produiveはこれを自社のISO5クリーンルーム(カスタムセンサー統合のためのBEOL施設を含む)によって実現しています。これにより、センサー設計から最終的なカメラ組み立てまでのプロセス全体に対して完全な責任を担うことができます。私たちの真のエンドツーエンドアプローチは、プロジェクトの複雑さを軽減し、顧客の市場投入までの時間を短縮します。

半導体製造装置への深い理解

Produiveは顧客と緊密な連携のもと、完全カスタマイズされたカメラを設計しています。私たちの多分野にわたるエンジニアリングチームは真のパートナーとして機能し、複雑な装置要件を精密なカメラ仕様へと変換します。高性能半導体およびライフサイエンスアプリケーション向けに構築された私たちのカメラは、超高真空環境から能動水冷システムまで、極限条件下でも卓越した性能を発揮するよう設計されており、次世代計測ツールが要求する熱的安定性を維持しています。半導体製造装置において信頼性が重要であることを深く理解しているため、すべてのProdriveカメラ製品には非常に幅広いパラメータのリアルタイム診断機能が搭載されています。

エンドツーエンドプロポジション

私たちは、市販のカメラやセンサーでは対応できない最も厳しい要件を持つアプリケーション向けに、完全カスタム開発されたイメージングシステムを提供しています。

私たちのエンドツーエンドアプローチが差別化要因です:


私たちは、解像度、速度、感度の完璧なバランスを実現するカスタムイメージングセンサーを中心にカメラを設計・製造しています。私たちの設計チームは、カメラ設計プロセスにおけるスムーズな統合を可能にする設計上の選択においてセンサー設計ハウスをサポートしています。私たちの製造サービスは「ウェーハからカメラまで」のプロセス全体をカバーしています。これには、完成したウェーハのプロービングおよびダイシングによるセンサー化と、これらのセンサーのカメラへの統合が含まれます。Produiveの垂直統合されたオファリングには、今日の計測装置が生成する膨大な計測データのリアルタイム処理を実現するための高帯域幅カメラとデータ処理ソリューションが含まれています。この総合的なアプローチにより、お客様は比類のない性能と信頼性を提供する次世代イメージングシステムを実現することができます。

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デザインの課題をマスターする

  • 私たちのソリューションは、従来の既製品デザインをはるかに超えています。私たちはお客様が画期的なパフォーマンスを達成できるよう、複雑な課題に取り組んでいます。その内容は以下の通りです:
  • カスタム(大型)センサーの設計と統合
  • 超高帯域幅エレクトロニクス(通常50~500 Gbps)のコンパクトな機械的制約内での開発
  • 超高真空環境においても0°C以下での動作を実現するアクティブおよびパッシブ冷却ソリューションの実装
  • 超高真空条件(1e-9 mbar以下)に準拠した設計および製造
  • オンボード処理の統合により、ホストシステムの計算負荷を軽減
  • 長寿命(通常10年以上)を考慮した設計

アプリケーション領域

当社のTDIカメラは、マルチ電子ビーム、X線、DUV、可視光、赤外線イメージングなど、幅広い用途に対応しています

マーケット

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