半導体デバイスの微細化が進む中、プラズマエッチングおよび成膜プロセスでは、イオンエネルギーとプラズマ密度のより厳密な制御が求められています。より小さなフィーチャーの実現と安定したプロセス性能の維持には、こうした制御が不可欠です。
Prodrive Technologiesは、エッチングおよび成膜アプリケーションにおける高度なプラズマバイアス制御を目的としたテーラードウェーブフォームジェネレーター「Axiom」を開発しました。このシステムは、より正確なプロセス制御をサポートするテーラードバイアス波形を実現するとともに、システムの複雑さの軽減にも貢献します。
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柔軟な波形制御
デューティサイクル、電圧、スロープ、タイミングなどのすべての波形パラメータは、パルスの完全性を維持しながら変更することができます。
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シングルボックスソリューション
複数のサブシステムではなく、単一のボックスのみを制御し、低速で予測不可能なマッチボックスを排除します。
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高いシステム効率
より低い電力で、より高いエッチングまたは成膜レートを実現します。
特徴
- フレキシブルデジタル波形制御
- プログラム可能なデューティサイクル
- 内蔵高速オシロスコープ
- EtherCATインターフェース
- コモン・エキサイター・インターフェース（CEX）
- ON/OFFモジュレーション
- マッチ箱は不要
- 統合されたDCブロッキングコンデンサ
特典
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プロセス制御の向上、ダメージの低減
ウェーハダメージを低減しながら、波形パラメータを調整することで最適なIEDF制御を実現します。
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システムの複雑さを軽減
マッチボックス、マッチボックスコントローラー、その他の外部センサーを、シングルボックスソリューションに置き換えることで取り除きます。
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プロセスのドリフトを低減する
電極上で直接波形を制御することで、マッチボックスRFバイアスソリューションと比較してプロセスドリフトを低減できます。
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システム効率の向上
RFバイアスと比較して、エッチングレートと選択性が向上しています。
マーケット＆業界
製品仕様
