定制相机解决方案
突破成像技术极限,实现先进计量
Prodrive Technologies在为半导体、平板显示器和生命科学行业的计量应用开发先进成像解决方案方面拥有丰富的成功经验。在这些领域,我们通过在电子束、深紫外线、可见光、X射线和太赫兹成像等多个领域提供像素分辨率、速度和灵敏度的优化组合而脱颖而出。
领域专业知识
我们的优势在于与行业领导者合作,打造量身定制的成像解决方案。Prodrive Technologies的多学科特性使我们能够组建设计团队,与客户紧密合作,从系统角度评估技术挑战。这将为每一个独特的挑战带来最佳的技术方案。我们开发的解决方案通常适用于超过10年的长期生产。为确保每个设计都针对大规模生产进行优化,我们在设计项目的早期阶段就引入制造架构师。
从传感器设计到相机
对于我们开发的相机解决方案,现成的传感器往往难以满足需求。因此,我们的相机设计采用定制传感器,专为特定应用在分辨率、灵敏度和像素速率方面发挥卓越性能。这些传感器在我们的设计合作伙伴网络内开发,我们的工程团队在早期阶段就深度参与,以确保最优的设计决策,从而直接有益于后期的相机架构。Prodrive为此配备了内部ISO5洁净室,包括用于定制传感器集成的BEOL设施。这使我们能够对整个流程承担全部责任——从传感器设计到最终相机组装。我们真正的端到端方法降低了项目复杂性,加快了客户的产品上市时间。
我们深入了解晶圆厂设备
Prodrive与客户密切合作,设计完全定制化的相机。我们的多学科工程团队作为真正的合作伙伴,将复杂的设备需求转化为精确的相机规格。我们的相机专为高性能半导体和生命科学应用而构建,能够在极端条件下出色运行——从超高真空环境到主动水冷系统——同时保持下一代计量工具所要求的热稳定性。我们深知可靠性在晶圆厂设备中至关重要,这也是为什么所有Prodrive相机产品都具备对极广泛参数集的实时诊断功能。
端到端解决方案
我们为要求最严苛的应用提供完全定制开发的成像系统——这些场合中现成的相机和传感器均无法满足需求。
我们的端到端方法使我们与众不同:
我们围绕定制成像传感器设计和制造相机,实现分辨率、速度和灵敏度的完美平衡。我们的设计团队在设计选择上为传感器设计机构提供支持,确保在相机设计过程中实现顺畅集成。我们的制造服务涵盖"从晶圆到相机"的整个流程,包括对已完成晶圆的探针测试和切割以形成传感器,以及将这些传感器集成到相机中。Prodrive的垂直整合产品包括高带宽相机和数据处理解决方案,可对当今计量设备产生的海量测量数据进行实时处理。这种整体化方法使我们的客户能够实现具有卓越性能和可靠性的下一代成像系统。
Prodrive Technologies在为半导体、平板显示器和生命科学行业的计量应用开发先进成像解决方案方面拥有丰富的成功经验。在这些领域,我们通过在电子束、深紫外线、可见光、X射线和太赫兹成像等多个领域提供像素分辨率、速度和灵敏度的优化组合而脱颖而出。
领域专业知识
我们的优势在于与行业领导者合作,打造量身定制的成像解决方案。Prodrive Technologies的多学科特性使我们能够组建设计团队,与客户紧密合作,从系统角度评估技术挑战。这将为每一个独特的挑战带来最佳的技术方案。我们开发的解决方案通常适用于超过10年的长期生产。为确保每个设计都针对大规模生产进行优化,我们在设计项目的早期阶段就引入制造架构师。
从传感器设计到相机
对于我们开发的相机解决方案,现成的传感器往往难以满足需求。因此,我们的相机设计采用定制传感器,专为特定应用在分辨率、灵敏度和像素速率方面发挥卓越性能。这些传感器在我们的设计合作伙伴网络内开发,我们的工程团队在早期阶段就深度参与,以确保最优的设计决策,从而直接有益于后期的相机架构。Prodrive为此配备了内部ISO5洁净室,包括用于定制传感器集成的BEOL设施。这使我们能够对整个流程承担全部责任——从传感器设计到最终相机组装。我们真正的端到端方法降低了项目复杂性,加快了客户的产品上市时间。
我们深入了解晶圆厂设备
Prodrive与客户密切合作,设计完全定制化的相机。我们的多学科工程团队作为真正的合作伙伴,将复杂的设备需求转化为精确的相机规格。我们的相机专为高性能半导体和生命科学应用而构建,能够在极端条件下出色运行——从超高真空环境到主动水冷系统——同时保持下一代计量工具所要求的热稳定性。我们深知可靠性在晶圆厂设备中至关重要,这也是为什么所有Prodrive相机产品都具备对极广泛参数集的实时诊断功能。
端到端解决方案
我们为要求最严苛的应用提供完全定制开发的成像系统——这些场合中现成的相机和传感器均无法满足需求。
我们的端到端方法使我们与众不同:
我们围绕定制成像传感器设计和制造相机,实现分辨率、速度和灵敏度的完美平衡。我们的设计团队在设计选择上为传感器设计机构提供支持,确保在相机设计过程中实现顺畅集成。我们的制造服务涵盖"从晶圆到相机"的整个流程,包括对已完成晶圆的探针测试和切割以形成传感器,以及将这些传感器集成到相机中。Prodrive的垂直整合产品包括高带宽相机和数据处理解决方案,可对当今计量设备产生的海量测量数据进行实时处理。这种整体化方法使我们的客户能够实现具有卓越性能和可靠性的下一代成像系统。
掌握设计挑战
- 我们的解决方案远远超出了传统的现成设计范畴。我们应对复杂挑战,帮助客户实现突破性性能,包括:
- 设计与集成(大型)定制传感器
- 超高带宽电子设备(通常为50至500 Gbps)在紧凑机械约束条件下的开发
- 在超高真空环境中,用于0°C以下操作的主动和被动冷却解决方案的实施
- 符合超高真空条件的设计和制造(达到1e-9 mbar及更高)
- 集成板载处理以减少主机系统的计算负载
- 设计使用寿命长,通常超过10年
应用领域
我们的TDI相机覆盖广泛的应用领域,包括多电子束、X射线、深紫外、可见光和红外成像