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干涉仪

研发中

浦卓科技的高精度位置测量解决方案集成到高精度运动系统中,提供最大的灵活性,非常适合高可靠性和长可用性解决方案的(真空)阶段。我们的解决方案提供绝对测量,结合不受影响的数字集成选项,测量系统和运动控制系统之间实现亚纳秒时间精度的无缝同步。我们在半导体行业数十年的经验结合光学专业知识,提供了一个创新的干涉仪解决方案,专注于OEM设备供应商,以降低系统成本,同时通过多年来的高可用性提供降低操作和维护成本。

  • 10 年以上生命周期/可靠性
  • 绝对位置测量
  • 与子ns定时同步的系统集成选项
  • 定位精度高
  • 最具成本效益的解决方案

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