Prodrive Technologies logo white Prodrive Technologies logo
EN 中文 |

联系我们

谢谢您的反馈。 我们将尽快和您联系。


产品

位置测量解决方案

Pico Scalar

浦卓科技的Pico Scaler为精密运动系统提供高精度位置测量解决方案。Pico Scalar为(真空)阶段提供高可靠性和长期可用性的方案。我们的解决方案具有纳秒级延迟同步和绝对位置测量。我们将其与数字集成选项结合,来实现测量和运动控制系统无缝同步。浦卓光学专业技术为我们的OEM设备合作伙伴提供创新的干涉仪解决方案,专注于降低TCO(总体拥有成本);降低系统的直接成本,同时降低运营和维护成本。二十多年来,浦卓科技一直是半导体行业的研发和生产合作伙伴。结合这一经验和我们强大的质量管理体系,我们了解实施精确复制和更改控制需要什么,支持我们从概念到寿命结束以及以后的解决方案。

联系我们
Interferometer 01 Forwebsite
10+年使用寿命
绝对位置测量
亚纳秒级定时延迟系统集成选项
200皮米高精度定位

技术规格

Position Measurement Performance

Number of sensor axes per MU 1 – 6
Working distance 0 – 6000 mm
Target velocity 0 – 1 m/s
Sensor resolution 25 pm
Sensor repeatability 200 pm (In vacuum conditions)
Measurement bandwidth per axis 40 MHz (optical)
5 MHz digital output
Signal stability (2.5s) 0.1nm
Thermal drift < 50nm / C

Measurement modes and features

Default mode Relative displacement single ended
Differential measurement Included
Homing feature software Included
Absolute distance measurement Included; 20s
Sensor alignment Manual on sensorhead
Target alignment Visible laser (600nm)

Environmental conditions

Temperature 15 – 35 C
Pressure High Vacuum - Ambient
Humidity 0 – 95 % (non-condensing)
Availability 10 yrs+
Lifetime 10 yrs+

System Integration

Output Sin/Cos, S0S90, ENDAT, EtherCat G/G10
Power supply 12VDC; 8W
Configuration Interface Web-based, PMP-based
Fibre length Up to 5 meter
Laser source wavelength 1550nm; Class 3B