エッチング・成膜用電源システム

高速出力応答

プラズマの最適かつ迅速な制御を確保する応答性の高いシステム
高度な診断

Prodrive のプラズマ発生装置は、診断機能を統合することで、クリーンで予測可能なプラズマ電力供給を実現します。
高い電力効率

長年のパワーエレクトロニクスの専門知識による高効率変換の実現
フレキシブル波形

カスタマイズされた波形と精度の高いRFジェネレーターを使用して、厳密なプロセス制御を実現

プラズマを自在に制御する

革新的なインスタント・プラズマ・ジェネレーターとテーラード・ウェーブフォーム・ジェネレーター技術を活用し、効率的で精密なプラズマ処理の未来を切り開きましょう。マイクロ秒レベルの制御と高い安定性を実現することで、お客様はプラズマを自在に制御し、再現性の高い低ダメージなプラズマウェーハ処理を保証します。

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アプリケーション分野

マーケット＆業界

よくある質問

システムにはまだマッチ箱が必要ですか？

いいえ、当社の技術は非50オームの負荷で機能するように最適化されており、電極に直接取り付けることができます。この最適化により、マッチボックスで発生していた反射電力は、当社のシステムの信頼性や効率に対してリスクをもたらしません。
あなたの技術は基本的にマッチ箱を統合しますか？

いいえ、当社の技術は、さまざまなプラズマ条件下で安定した電力、電圧、または電流の供給を確保するために、内部または外部の可変コンポーネントを必要としません。
私たちの技術は実際のプラズマチャンバーでテストされていますか？また、私のチャンバー（誘導結合型、容量結合型など）でも機能しますか？

Prodrive Technologiesは、様々な学術・産業パートナーと協力し、様々なソースおよび電極構成を含む複数のプラズマチャンバーにおいて、技術の統合とテストを実施してきました。
既存のプラズマチャンバーに合わせて出力コネクターをカスタマイズできますか？

はい - Prodriveは、アプリケーション領域に近いシステムを統合するために、産業パートナーと共同で作業することが一般的です。
チャンバーのニーズに合わせて出力仕様（周波数、電力、電圧など）を変更することはできますか？

はい、私たちのシステムは特定の状況に合わせて最適化されています。チャンバーのニーズに基づいて、最適化されたシステム制御ソリューションも提供しています。
プラズマ生成とバイアスの両方に御社の技術を使用することはできますか？

テーラードウェーブフォームジェネレーター技術はプラズマバイアス（IEDF制御）専用に設計されていますが、インスタントプラズマジェネレーターはバイアスとプラズマ生成の両方に使用できます。
製品はプラズマチャンバーのどこに配置されますか？

この製品は、プラズマチャンバーの近くに配置されるよう設計されており、既存のマッチボックスのフットプリントまたはそれに近いサイズに収まることを目指しています。