ボイスコイルアクチュエータ - アイリス

Irisシリーズのボイスコイルアクチュエータは、高帯域幅と低剛性を必要とする短ストロークアプリケーションに優れた性能を発揮します。アイアンレス構造を採用したIrisアクチュエータは、吸引力を排除し、スムーズで摩擦のない動作とゼロ摩耗を実現します。これにより、半導体製造、検査システム、アクティブ除振に最適です。

高い力帯域幅に最適化されており、機械的な接触なしに迅速な力の変化と高速な動的応答を実現します。これにより、加速度、整定時間、外乱除去が重要な要求の厳しいアプリケーションにおいて、精密な制御が可能となります。