刻蚀与沉积电源系统

快速输出响应

响应式系统，确保对等离子体的最优和快速控制
高级诊断

Prodrive的等离子体发生器通过集成诊断功能，确保清洁且可预测的等离子体功率输出。
高功率效率

多年电力电子专业知识，确保高效转换
灵活波形

使用定制波形和精确的射频发生器实现精确的工艺控制

掌控您的等离子体

利用我们创新的即时等离子体发生器和定制波形发生器技术，推动高效、精准等离子体处理的未来发展。凭借微秒级控制和高度稳定性，我们的客户能够掌控其等离子体，确保可重复且低损伤的等离子体晶圆处理。

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常见问题

我的系统还需要火柴盒吗？

不，我们的技术经过优化，可以在非50欧姆负载下运行，因此可以直接安装在电极处。由于这种优化，使用匹配箱时存在的反射功率不会对我们的系统可靠性或效率构成风险。
您的技术基本上是否集成了火柴盒？

不，我们的技术不需要任何内部或外部可变组件来确保在不同等离子体条件下可靠地输送功率、电压或电流。
我们的技术是否已在真实等离子体腔室上进行过测试，它是否适用于我的腔室（电感耦合、电容耦合等）？

Prodrive Technologies与多家学术和工业合作伙伴合作，在各种等离子体腔室上集成和测试了相关技术，包括各种源极和电极配置。
可以定制输出连接器以适配现有的等离子体腔室吗？

是的 - Prodrive通常与工业合作伙伴合作，将系统集成到接近应用领域的地方。
输出规格（频率、功率、电压等）可以根据我的腔体需求进行更改吗？

是的，我们的系统通常针对特定情况进行优化。根据腔室需求，我们还提供优化的系统控制解决方案。
您的技术是否可以同时用于等离子体发生和偏压施加？

定制波形发生器技术仅适用于等离子体偏置（IEDF控制），而瞬时等离子体发生器既可用于偏置，也可用于等离子体生成。
产品将位于等离子腔室的什么位置？

这些产品设计用于靠近等离子体腔室放置，旨在适配现有匹配盒的占地面积或接近该尺寸。