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真空直线电机 - Gryphon

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适用于真空环境的高力铁芯直线电机

Gryphon电机专为真空和洁净室环境中的高精度应用而设计,凭借其无铁芯设计,实现平稳、无齿槽力矩的运动。峰值力高达414 N,速度可达1.5 m/s,为半导体和检测系统提供快速、精确的定位。

采用扁线线圈技术的先进热管理系统确保高效散热,而集成的PT1000传感器提供精确的温度监控。针对敏感应用集成了磁场屏蔽功能,最大限度地减少干扰,确保在具有严格电磁要求的环境中实现最佳性能。Gryphon电机可与Prodrive伺服驱动器和运动控制器无缝集成,提供完整的运动解决方案。

  • 真空兼容设计

    专为高真空环境设计,确保在半导体和检测应用中零污染和可靠性能。

  • 无铁芯技术,实现平滑运动

    提供极低的力纹波并消除齿槽力,实现精确的线性运动,具有出色的伺服性能。

  • 磁场屏蔽在敏感应用中的应用

    采用先进的磁屏蔽技术,将电磁干扰降至最低,确保在有严格灵敏度要求的环境中稳定可靠地运行。

  • 优化热管理

    扁线线圈技术最大化热传递,而集成的PT1000传感器确保精确的温度监控,以实现稳定运行。

  • 连接性

    配备真空兼容连接器,简化电缆更换和维护工作,同时保持系统清洁度和运行时间。

应用领域

技术规格

Model Gryphon-M Gryphon-L
Height (mm) 39 45
Depth (mm) 118 135
Number of coils 9 12
Width (mm) 263 371
Peak Force (N) 269 414
Continuous Force (N) 161 249
Motor Constant (N²/W) 566 1330