电子束探测器和摄像机

随着半导体结构尺寸的不断减小，需要对颗粒或图案缺陷进行替代检测。

由于光波长的限制，光学技术本质上已经不足以检测这些纳米级特征。这为 SEM 检测扫清了道路。

为了快速检测半导体行业的纳米级特征，浦卓科技开发和制造用于高速成像的先进多光束相机，以在灵敏度、分辨率和采集速度方面实现新的里程碑。

通过与客户的密切合作，我们定义下一代要求，并与传感器合作伙伴一起制定新的市场标准。我们涵盖了整个开发和制造过程。

设计能力：

• 超高真空兼容（例如 1E-9 毫巴）
• 超低泄漏 （<1E-9 毫巴∙升/秒） 主动冷却 真空低温冷却（例如 -20ºC） 高带宽电子设计，支持 >400Gbps
• 包括处理硬件（图像采集卡）
• 与专业合作伙伴合作的传感器设计
• 大像素尺寸可实现低噪声性能，典型值>60um
• 低暗电流
• 高带宽 >100MHz
• 多波束支持，>100波束