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产品

偏压发生器(波形)

射频等离子体系统专用偏压波形发生器

浦卓在等离子体发生器中引入了中断式能量分配技术,为等离子体发生器提供了量身定制的能量分配。定制的波形输出提供独立的电流和电压控制,并实时测量。与传统的射频偏压相比,鞘层离子能量的直接控制大大提高了刻蚀和沉积过程的控制和精度,使离子能量分布能够定制,允许非常窄的分布和尾部消除。这将优化处理速度和对敏感特性的最大选择性。它还降低了偏压的能耗,提高了系统相对于传统技术的效率。
可根据要求提供规格。
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Renderr02
Narrow ion energy distribution with tail elimination
Maximum control of bias conditions with real-time waveform monitoring
Fast integration with conventional RF systems
Proprietary autotuning of waveform