随着半导体结构尺寸的不断减小，需要对颗粒或图案缺陷进行替代检测。
由于光波长的限制，光学技术本质上已经不足以检测这些纳米级特征。这为 SEM 检测扫清了道路。
为了快速检测半导体行业的纳米级特征，浦卓科技开发和制造用于高速成像的先进多光束相机，以在灵敏度、分辨率和采集速度方面实现新的里程碑。
通过与客户的密切合作，我们定义下一代要求，并与传感器合作伙伴一起制定新的市场标准。我们涵盖了整个开发和制造过程。
设计能力：
