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波赛冬CFL系列

可以同步控制多达2820千赫高频运动轴的波塞冬CFL运动控制器

高端半导体制造在加工和测量300毫米晶圆时需要高吞吐量。这样的高性能应用场景需要单独的运动控制器和伺服驱动器来实现快速和精确的运动控制。

采用了Intel® Coffee Lake处理器的波塞冬CFL运动控制器可以同步控制多达28根20千赫的超高频运动轴或者70根10千赫的高频运动轴。4核、6核或8核x86处理器可以执行多达15个EtherCAT®总线的同步控制,用于集中式、分布式或混合网络。单个总线可以控制单个机器的单独部分,或者允许对单个EtherCAT子设备进行低延迟控制。

集中运动控制

在集中运动控制系统中,控制器单元接收整个系统的所有传感器信息,将测量数据与目标位置进行比较,并为所有连接的EtherCAT子设备生成新的设定值。它是半导体、平板显示器(FPD)制造和先进封装中性能最高的运动控制的理想选择。波塞冬 CFL运动控制器可以为半导体XYZ stage执行多轴定位,并且可以应用逆向运动学中的4阶运动曲线,以生成每个轴的最佳轨迹。

19英寸机架有1U和3U两种。生命周期高达7年以上。

MATLAB®和Simulink®集成

通过编程和调整,波塞冬系列CFL运动控制器可以完美采用浦卓先进的运动控制平台软件。浦卓运动控制平台已经被运动控制行业的很多客户选用。它切实地为客户提供真正的实时性能和可加工性,以及根据应用程序需要修改任何控制循环的灵活性。MATLAB®和Simulink®集成工具可以允许任何自定义控制算法的设计和执行。

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